注:對于反射率較高的物體,有時(shí)會因處于測量范圍外而產(chǎn)生錯(cuò)誤檢測。
*1. 光束直徑:為測量范圍的最小直徑值(實(shí)效值),根據(jù)中心光強(qiáng)度的1/e2(13.5%)進(jìn)行定義。
定義區(qū)域外存在漏光或?qū)ο笪矬w周圍的反射率高于對象物體時(shí),會出現(xiàn)錯(cuò)誤檢測。
此外,檢測直徑小于光束的工件時(shí),有時(shí)無法得到正確的測量值。
*2. 分辨率:表示連接在ZX2-LDA上時(shí)模擬量輸出的波動(dòng)幅度(±3σ)。
(表示將ZX2-LDA的響應(yīng)時(shí)間設(shè)定為128ms,并以本公司標(biāo)準(zhǔn)對象物體(擴(kuò)散反射型:白色陶瓷、正反射型:1/4λ平面鏡)為中心距離的測量值。)表示工件為靜 止?fàn)顟B(tài)的重復(fù)精度,并非表示距離精度。
在較強(qiáng)的電磁場內(nèi),有時(shí)無法滿足分辨率的性能。
*3. 線性:表示測量本公司標(biāo)準(zhǔn)對象物體時(shí),相對于變位輸出理想直線的誤差。線性度及測量值因?qū)ο笪矬w而異。
F.S.表示整個(gè)測量范圍。(ZX2-LD50 (L):20mm)
*4. 溫度特性:通過鋁制夾具固定傳感頭和本公司標(biāo)準(zhǔn)對象物體時(shí)的數(shù)值。(按照測量中心距離進(jìn)行測量)
*5. 預(yù)定依照FDA標(biāo)準(zhǔn)的Laser Notice No.50規(guī)定,按IEC60825-1的基準(zhǔn)劃分為擴(kuò)散反射型的Class2、正反射型的Class1,并已申報(bào)CDRH。